СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЕ РЕФЛЕКТОМЕТРЫ

Спектроскопические рефлектометры Angstrom Sun Technologies, Inc. серии SR - относительно недорогие и простые инструменты для измерения толщин тонких пленок и их спектральных характеристик. Свойства покрытия моделируются программным обеспечением TFProbe по данным измерения спектра отражения образца (в большинстве случаев при нормальном падении излучения). Серия рефлектометров SR - хороший низкобюджетный выбор, когда требуются быстрые рутинные ежедневные измерения известных пленок или простых пленочных структур. Если интерес представляют только спектры отражения (например, при анализе просветляющих или зеркальных покрытий), решающим фактором при выборе устройства будет диапазон длин волн излучения. Если пользователь заинтересован в определении толщин пленок, необходимо учесть и такой фактор, как оптическое разрешение спектрометра. Мы предлагаем различные конфигурации приборов, а также можем сконфигурировать устройство в соответствии с требованиями заказчика.

Наши спектроскопрические рефлектометры имеют много уникальных свойств - длинное и регулируемое рабочее расстояние, большой размер предметного стола, выбор источника излучения, регулируемая интенсивность источника излучения, и др. Имеются и дополнительные опции - измерение пропускания, проведение измерения на криволинейных поверхностях, многоканальность, выбор большого или малого пучка, и др.

Мы поставляем наши спектроскопические рефлектометры с расширенной технической поддержкой. Поскольку мы также поставляем и спектроскопические эллипсометры, мы обеспечиваем бесплатное эллипсометрическое моделирование для тех пользователей, кому требуется помощь в работе с нашими рефлектометрами. Во многих случаях пользователи наших приборов производят апгрейд рефлектометров до эллипсометров, что позволяет им решить самые продвинутые задачи.

Модель SR100 имеет спектральный диапазон 250 нм - 1100 нм; Модель SR500 имеет расширенный до 1700 нм диапазон. Спектральный диапазон ориентирован главным образом на область применения прибора. Например, в телекоммуникационных технологиях все диапазоны (O-диапазон 1260-1360 нм, E-диапазон 1360-1460 нм, S-диапазон 1460-1530 нм, C-диапазон 1530-1560 нм, L-диапазон 1565-1625 нм, U-диапазон 1625-1675 нм) лежат в ближнем инфракрасном диапазоне длин волн. Для определения качества компонента (например, поведение просветляющего покрыития в кювете лазера) рефлектометр должен работать в данном диапазоне длин волн. Большинство новейших фотовольтаических покрытий поглощают в видимом диапазоне длин волн как, например, система медь-индий-галлий (ди)селенид (CIGS), и измерить толщину этих пленок можно только в том диапазоне длин волн, где они прозрачны, т.е. опять же в ближнем инфракрасном диапазоне.

Примечания:

- Конфигурация прибора и его спецификации могут быть изменены без предварительного уведомления;
- Приборы могут быть изготовлены по отдельному заказу для конкретных специальных применений;
- TFProbe - зарегестрированная торговая марка Angstrom Sun Technologies Inc.




Reflectometer SR100
  • Легкий запуск;
  • Легкое управление с помощью программного обеспечения, работающего в ОС Windows;
  • Передовая оптика для наилучшего качества системы;
  • Линейка приемников обеспечивает быстрые измерения;
  • Измеряет толщины пленок и их показатели преломления в структурах, состоящих из до 5 слоев;
  • Запись спектров отражения, пропускания и поглощения за миллисекунды;
  • Может быть использован для мониторинга толщин и показателей преломления в реальном времени или in-line;
  • Прибор поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Продвинутое программное обеспечение TFProbe позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА)
  • Апгрейд до микроспектрофотометра MSP, картографирующей системы SRM, многоканальной системы, устройства с широким пятном для прямых измерений на поверхностях с неоднородной развитой поверхностью;
  • Применим к различным типам подложек различной толщины;
  • Различные дополнительные приспособления для специальных конфигураций, таких, как проведение измерений на криволинейных поверхностях;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный пользовательский интерфейс.
  • Модель: SR100R;
  • Приемник: CCD линейка, 2048 пикселей;
  • Источник света: высокомощный комбинированный, дейтериевая и галогенная лампы;
  • Транспортировка излучения: световоды;
  • Предметный стол: изготовлен из анодированного алюминиевого сплава, легкая регулировка по высоте образца, размер 200 х 200 мм;
  • Подключение к внешнему компьютеру через USB порт;
  • Типы измеряемых параметров: толщина пленки, спектр отражения, показатель преломления;
  • Программное обеспечение: TFProbe 2.x;
  • Внешний компьютер: свыше Р3 с минимум 50 Мб свободного пространства;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 1.5 А;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 250 - 1100 нм;
  • Размер светового пятна на образце от 500 µм до 5 мм;
  • Размер образца: до 200 мм х 200 мм или до диаметра 200 мм;
  • Толщина подложки образца: до 50 мм;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 2 нм до 50 µм;
  • Время измерений: минимум 2 мс;
  • Точность лучше чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрических измерений термически окисленного образца при использовании тех же оптических констант);
  • Воспроизводимость*: лучше 1 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 Å на подложке Si);

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Дополнительное приспособление для измерения пропускания и поглощения (SR100RT);
  • Микропятно для анализа малых участков поверхности размером до 5 µм (MSP100);
  • Многоканальность для одновременного проведения измерений в нескольких местах (SR100xX);
  • Картографирование однородности параметра по подложке размером 200 мм или 300 мм (SRM100-200/300);
  • Упрощенный и более дешевый предметный стол.
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Криминалистика, биологические пленки и материалы;
  • Исследование красителей, пигментов, минералогические исследования;
  • Фармацевтика, медицинское оборудование;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний;
  • Покрытия ячеек солнечных батарей.
  • Измерение толщины тонкой пленки Al2O3;
  • Измерение толщин толстых пленок;
  • Измерение спектров отражения оптических просветляющих покрытий.

Reflectometer SR300
  • Легкий запуск;
  • Легкое управление с помощью программного обеспечения, работающего в ОС Windows;
  • Передовая оптика для наилучшего качества системы;
  • Линейка приемников обеспечивает быстрые измерения;
  • Уникальная конструкция источника излучения, обеспечивающаю лучшую стабильность интенсивности излучения;
  • Четыре способа регулировки интенсивности излучения:
    • Регулировка выходной мощности регулятором источника питания осветителя;
    • Использование фильтров, встпавляемых в щель на выходе источника освещения;
    • Регулировка размера светового пучка;
    • Регулировка времени интегрирования сигнала в приемнике через программное обеспечение TFProbe.
  • Измеряет толщины пленок и их показатели преломления в структурах, состоящих из до 5 слоев;
  • Запись спектров отражения, пропускания и поглощения за миллисекунды;
  • Может быть использован для мониторинга толщин и показателей преломления в реальном времени или in-line;
  • Прибор поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Продвинутое программное обеспечение TFProbe позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА)
  • Апгрейд до микроспектрофотометра MSP, картографирующей системы SRM, многоканальной системы, устройства с широким пятном для прямых измерений на поверхностях с неоднородной развитой поверхностью;
  • Применим к различным типам подложек различной толщины;
  • Различные дополнительные приспособления для специальных конфигураций, таких, как проведение измерений на криволинейных поверхностях;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный пользовательский интерфейс.
  • Модель: SR300R;
  • Приемник: CCD линейка, 2048 пикселей;
  • Источник света: высокостабильная и долгоживущая галогенная лампа;
  • Транспортировка излучения: световоды;
  • Предметный стол: изготовлен из анодированного алюминиевого сплава, легкая регулировка по высоте образца, размер 200 х 200 мм;
  • Подключение к внешнему компьютеру через USB порт;
  • Типы измеряемых параметров: толщина пленки, спектр отражения, показатель преломления;
  • Программное обеспечение: TFProbe 2.х;
  • Внешний компьютер: свыше Р3 с минимум 50 Мб свободного пространства;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 1.5 А;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 400 - 1100 нм;
  • Размер светового пятна на образце от 500 µм до 5 мм;
  • Размер образца: до 200 мм х 200 мм или до диаметра 200 мм;
  • Толщина подложки образца: до 50 мм;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 20 нм до 50 µм;
  • Время измерений: минимум 2 мс;
  • Точность лучше чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрических измерений термически окисленного образца при использовании тех же оптических констант);
  • Воспроизводимость*: лучше 1 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 А на подложке Si);

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Дополнительное приспособление для измерения пропускания и поглощения (SR300RT);
  • Микропятно для анализа малых участков поверхности размером до 5 µм (MSP300);
  • Многоканальность для одновременного проведения измерений в нескольких местах (SR300xX);
  • Картографирование однородности параметра по подложке размером 200 мм или 300 мм (SRM300-200/300).
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Криминалистика, биологические пленки и материалы;
  • Исследование красителей, пигментов, минералогические исследования;
  • Фармацевтика, медицинское оборудование;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний.
  • Покрытия ячеек солнечных батарей.
  • Измерение толщин слоев трехслойного покрытия нитрид-окисел-нитрид на стекле;
  • Измерение толщин толстых пленок;
  • Измерение спектров отражения и толщин пленок нано-кристаллического кремния.

Reflectometer SR500
  • Легкий запуск;
  • Легкое управление с помощью программного обеспечения, работающего в ОС Windows;
  • Передовая оптика для наилучшего качества системы;
  • Линейка приемников обеспечивает быстрые измерения;
  • Измеряет толщины пленок и их показатели преломления в структурах, состоящих из до 5 слоев;
  • Запись спектров отражения, пропускания и поглощения за миллисекунды;
  • Может быть использован для мониторинга толщин и показателей преломления в реальном времени или in-line;
  • Прибор поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Продвинутое программное обеспечение TFProbe позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА)
  • Апгрейд до микроспектрофотометра MSP, картографирующей системы SRM, многоканальной системы, устройства с широким пятном для прямых измерений на поверхностях с неоднородной развитой поверхностью;
  • Применим к различным типам подложек различной толщины;
  • Различные дополнительные приспособления для специальных конфигураций, таких, как проведение измерений на криволинейных поверхностях;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный пользовательский интерфейс.
  • Модель: SR500R;
  • Приемник: Двойной, CCD линейка для видимого и ультрафиолетового диапазонов, линейка InGaAs приемников для ближнего инфракрасного диапазона;
  • Источник света: Комбинированный, дейтериевая и галогенная лампы;
  • Транспортировка излучения: световоды;
  • Предметный стол: изготовлен из анодированного алюминиевого сплава, легкая регулировка по высоте образца, размер 200 х 200 мм;
  • Подключение к внешнему компьютеру через USB порт;
  • Типы измеряемых параметров: толщина пленки, спектр отражения, показатель преломления;
  • Программное обеспечение: TFProbe 2.4/2.5;
  • Внешний компьютер: свыше Р3 с минимум 50 Мб свободного пространства;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 1.5 А;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 250 - 1700 нм;
  • Размер светового пятна на образце от 500 µм до 5 мм;
  • Размер образца: до 200 мм х 200 мм или до диаметра 200 мм;
  • Толщина подложки образца: до 50 мм;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 2 нм до 150 µм;
  • Время измерений: минимум 2 мс;
  • Точность лучше чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрических измерений термически окисленного образца при использовании тех же оптических констант);
  • Воспроизводимость*: лучше 1 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 А на подложке Si).

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Дополнительное приспособление для измерения пропускания и поглощения (SR500RT);
  • Микропятно для анализа малых участков поверхности размером до 5 µм (MSP500);
  • Многоканальность для одновременного проведения измерений в нескольких местах (SR500xX);
  • Картографирование однородности параметра по подложке размером 200 мм или 300 мм (SRM500-200/300).
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Криминалистика, биологические пленки и материалы;
  • Медицинское оборудование;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний.



VECOR 101 Duranzo Aisle, Irvine, CA92606, USA
Phone: +1-949-394-4466 * Fax: +1-949-451-6813 * E-mail: info@vecorus.com