МИКРОСПЕКТРОФОТОМЕТРЫ

Микроспектрофотометрия (микрофотометрия) применяется для изучения оптических свойств тонких пленок и толстых покрытий на участке поверхности размером порядка одного микрона. Микроспектрофотометры часто называют микрорефлектометрами, микроспектрометрами, микрофотометрами, микроскопическими фотометрами и т.п. Уникальная конструкция микроспектрофотометров Angstrom Sun Technologies, Inc. серии MSP предоставляет пользователю средства для измерения отражения, пропускания и поглощения, а также дает возможность наслаждаться живым видео и мощнейшими средствами цифрового редактирования изображений. Сбор данных осуществляется за миллисекунды. Через программное обеспечение TFProbe пользователь может включить нагревание или охлаждение предметного стола для измерения в реальном времени кинетики таких оптических параметров, как отражение, пропускание, поглощение, толщина покрытия, показатель преломления (оптические константы) и др. Модели с моторизованными X-Y или Rho-Theta столами позволяют производить картографирование поверхности образца; также имеется и моторизованная фокусировка. MSP микроспектрофотометры покрывают диапазон длин волн излучения от глубокого ультрафиолета (DUV) до ближней инфракрасной области спектра (NIR). Выбор требуемого диапазона длин волн зависит от многих факторов, таких, как диапазон измеряемых толщин тонких пленок или толстых покрытий, требуемые диапазоны длин волн для измерений спектров пропускания или отражения и т.п. Микроспектрофотометры применяются в различных областях - нанотехнологиях, криминалистике, медицине, производстве изделий MEMS и MEOMS, биологии, химии и т.д...

Мы предлагаем микроспектрофотометры трех стандартных конфигураций. Модель MSP100 работает в диапазоне длин волн от 250 до 1000 нм (DUV - Vis). Широкодиапазонный (DUV - Vis) объектив входит в компленкт прибора. Модель MSP300 предназначена для измерений пропускания и отражения в видимом диапазоне спектра от 400 до 1000 нм и хороша для измерений толщин толстых покрытий. Модель MSP500 покрывает диапазон от 250 до 1700 нм (DUV - NIR). По требованию заказчика могут быть изготовлены микроспектрофотометры с другими диапазонами длин волн излучения.

Примечания:

- Конфигурация прибора и его спецификации могут быть изменены без предварительного уведомдения;
- Приборы могут быть изготовлены по отдельному заказу для конкретных специальных применений;
- TFProbe - зарегестрированная торговая марка Angstrom Sun Technologies Inc.




Microspectrophotometer MSP100
  • Продвинутая DUV оптика и надежная конструкция для обеспечения длительного времени безотказной работы с высочайшим качеством;
  • Быстрые измерения обеспечиваются линейкой приемников;
  • Занимающая мало места удобная настольная конструкция;
  • Измеряет толщины пленок и показатель преломления в системе до 5 слоев на участке поверхности размерами порядка 1 микрона;
  • Запись спектра отражения, пропускания и поглощения за миллисекунды;
  • Может быть использован для мониторинга значений спектров, толщины и показателей преломления в реальном времени;
  • Поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Продвинутое программное обеспечение позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА);
  • Интегрированы системы наблюдения, измерения спектров, симуляции и измерения толщин пленок;
  • Применим для многих различных видов подложек различной толщины и размерами до 200 мм;
  • Работа в глубоком ультрафиолете позволяет измерять малые толщины пленок до 20 Å;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный интерфейс управления данными;
  • Продвинутое программное обеспечение обработки изображений, позволяющее измерять углы, расстояния, площади, считать частицы, и т.д.;
  • Доступны различные опции для специальных применений.
  • Модель: MSP100RTM;
  • Приемник: CCD линейка, 2048 пикселей;
  • Источник света: высокомощный DUV - Vis;
  • Автоматизированный предметный стол: изготовлен из анодированного алюминиевого сплава, дистанции перемещения 5" x 3" с разрешением 1 µм, программное управление;
  • Моторизованный Z-привод фокусировки и X-Y-Z джойстик;
  • Длинофокусные объективы 10х, 15х(DUV), 40х или 50х;
  • Подключение к внешнему компьютеру через USB порт;
  • Типы измеряемых параметров: толщина пленки, спектр отражения и пропускания, показатель преломления, размерные параметры;
  • Компьютер: Intel Core 2 Duo Processor с жестким диском 200GB, DVD+RW привод плюс19” LCD монитор;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 3 А;
  • Габаритные размеры: 16" х 16" х 18" (настольный прибор);
  • Вес: 120 фунтов;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 250 - 1000 нм;
  • Разрешение по длинам волн: 1 нм;
  • Размер светового пятна на образце: 40 µм (10х), 30 µм (15х),8 µм (50х);
  • Толщина подложки образца: до 20 мм;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 20 Å до 25 µм;
  • Время измерений: минимум 2 мс;
  • Точность лучше чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрических измерений термически окисленного образца при использовании тех же оптических констант);
  • Воспроизводимость*: лучше 1 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 Å на подложке Si).

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Расширение диапазона длин волн до DUV или в NIR;
  • Высокомощная DUV оптика для малых размеров пятна;
  • Предметный стол с нагревом или охлаждением;
  • Дополнительный предметный стол для образца размером до 300 мм;
  • Более высокое разрешение по длинам волн до 0.1 нм;
  • Различные фильтры для специальных применений;
  • Дополнительное оснащение для флюорисцентных измерений;
  • Дополнительное оснащение для поляризационных применений.
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Криминалистика, биологические пленки и материалы;
  • Исследование красителей, пигментов, минералогические исследования;
  • Фармацевтика, медицинское оборудование;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний.
  • Измерение спектра пропускания трех фильтров;
  • Измерение толщин пленок;
  • Измерение спектра отражения зеркала MEMS;
  • Исследование однородности покрытия по толщине на подложке диаметром свыше 4".

Microspectrophotometer MSP300
  • Легкость работы с программное обеспечением на базе Windows;
  • Продвинутая DUV оптика и надежная конструкция для обеспечения длительного времени безотказной работы с высочайшим качеством;
  • Быстрые измерения обеспечиваются линейкой приемников;
  • Занимающая мало места удобная настольная конструкция;
  • Измеряет толщины пленок и показатель преломления в системе до 5 слоев на участке поверхности размерами порядка 1 микрона;
  • Запись спектра отражения, пропускания и поглощения за миллисекунды;
  • Может быть использован для мониторинга значений спектров, толщины и показателей преломления в реальном времени;
  • Поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Продвинутое программное обеспечение позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА);
  • Интегрированы системы наблюдения, измерения спектров, симуляции и измерения толщин пленок;
  • Применим для многих различных видов подложек различной толщины и размерами до 200 мм;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный интерфейс управления данными;
  • Продвинутое программное обеспечение обработки изображений, позволяющее измерять углы, расстояния, площади, считать частицы, и т.д.;
  • Доступны различные опции для специальных применений.
  • Модель: MSP300R;
  • Приемник: CCD линейка, 2048 пикселей;
  • Источник света: галогенная лампа с регулируемой интенсивностью;
  • Предметный стол: изготовлен из анодированного алюминиевого сплава, дистанции ручного перемещения 150 мм х 150 мм;
  • Длинофокусные объективы 10х, 40х или 50х;
  • Подключение к внешнему компьютеру через USB порт;
  • Типы измеряемых параметров: толщина пленки, спектр отражения и пропускания, показатель преломления, размерные параметры;
  • Компьютер: Intel Core 2 Duo Processor с жестким диском 200GB, DVD+RW привод плюс19” LCD монитор;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 3 А;
  • Габаритные размеры: 16" х 16" х 18" (настольный прибор);
  • Вес: 120 фунтов;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 400 - 1000 нм;
  • Разрешение по длинам волн: 1 нм;
  • Размер светового пятна на образце: 100 µм (4х), 40 µм (10х),8 µм (50х);
  • Размер образца: стандарт 150 х 150 мм;
  • Толщина подложки образца: до 20 мм;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 10 нм до 25 µм;
  • Время измерений: минимум 2 мс;
  • Точность лучше чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрических измерений термически окисленного образца при использовании тех же оптических констант);
  • Воспроизводимость*: лучше 1 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 Å на подложке Si).

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Расширение диапазона длин волн до DUV (MSP100) или в NIR (MSP500);
  • Высокомощная оптика для малых размеров пятна;
  • Конфигурация для специальных требований заказчика;
  • Предметный стол с нагревом или охлаждением;
  • Дополнительный предметный стол для образца размером до 300 мм;
  • Более высокое разрешение по длинам волн до 0.1 нм;
  • Различные фильтры для специальных применений;
  • Дополнительное оснащение для флюорисцентных измерений;
  • Дополнительное оснащение для поляризационных применений;
  • Стол для автоматического картографирования подложек до 300 мм.
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Криминалистика, биологические пленки и материалы;
  • Исследование красителей, пигментов, минералогические исследования;
  • Фармацевтика, медицинское оборудование;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний.
  • Измерение спектра пропускания цветных пикселей;
  • Измерение толщины пленки TiO2 на кремнии;
  • Измерение спектра отражения компонента MEMS внутри и снаружи через отверстие;
  • Функция оцифровки изображения.

Microspectrophotometer MSP500
  • Легкость работы с программным обеспечением на базе Windows;
  • Продвинутая оптика и надежная конструкция для обеспечения длительного времени безотказной работы с высочайшим качеством;
  • Быстрые измерения обеспечиваются линейкой приемников;
  • Занимающая мало места удобная настольная конструкция;
  • Измеряет толщины пленок и показатель преломления в системе до 5 слоев на участке поверхности размерами порядка 1 микрона;
  • Запись спектра отражения, пропускания и поглощения за миллисекунды;
  • Может быть использован для мониторинга значений спектров, толщины и показателей преломления в реальном времени;
  • Поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Продвинутое программное обеспечение позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА);
  • Интегрированы системы наблюдения, измерения спектров, симуляции и измерения толщин пленок;
  • Применим для многих различных видов подложек различной толщины и размерами до 200 мм;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный интерфейс управления данными;
  • Продвинутое программное обеспечение обработки изображений, позволяющее измерять углы, расстояния, площади, считать частицы, и т.д.;
  • Доступны различные опции для специальных применений.
  • Модель: MSP500RTMF;
  • Сдвоенный приемник: CCD линейка, 2048 пикселей для UV-Vis и линейка InGaAs для NIR;
  • Источник света: высокомощный DUV - Vis;
  • Моторизованный предметный стол: изготовлен из анодированного алюминиевого сплава, дистанции перемещения 100 мм х 75 мм;
  • Моторизованный автофокус с управлением от джойстика;
  • Длинофокусные объективы 10х, 15х, 50х (включен один DUV объектив);
  • Программное обеспечение: TFProbe 2.4/2.5 с возможностью полностью автоматического картографирования и выводом результатов в 2D/3D графике;
  • Подключение к внешнему компьютеру через USB порт;
  • Типы измеряемых параметров: толщина пленки, спектр отражения и пропускания, показатель преломления, флюоресценция, размерные параметры;
  • Компьютер: Intel Core 2 Duo Processor с жестким диском 200GB, DVD+RW привод плюс19” LCD монитор;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 3 А;
  • Габаритные размеры: 16" х 16" х 18" (настольный прибор);
  • Вес: 120 фунтов;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 250 - 1700 нм;
  • Разрешение по длинам волн: 1 нм для UV-Vis и 5 нм для NIR;
  • Размер светового пятна на образце: 100 µм (4х), 40 µм (10х), 30 µм (15х), 8 µм (50х);
  • Толщина подложки образца: до 20 мм;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 20 нм до 50 µм;
  • Время измерений: минимум 2 мс;
  • Точность лучше чем 0.5% (в сравнении с результатами эллипсометрических измерений термически окисленного образца при использовании тех же оптических констант);
  • Воспроизводимость*: лучше 1 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 Å на подложке Si).

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Расширение диапазона длин волн до более глубокого DUV или в дальнейшую NIR область (около 2500 нм);
  • Высокомощная оптика для малых размеров пятна;
  • Предметный стол с нагревом или охлаждением;
  • Конфигурация для специальных требований заказчика;
  • Дополнительный предметный стол для образца размером до 300 мм;
  • Более высокое разрешение по длинам волн до 0.1 нм;
  • Различные фильтры для специальных применений;
  • Дополнительное оснащение для флюорисцентных измерений;
  • Дополнительное оснащение для измерений Рамановских спектров;
  • Дополнительное оснащение для поляризационных применений.
  • Стол для автоматического картографирования подложек до 300 мм.
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Криминалистика, биологические пленки и материалы;
  • Исследование красителей, пигментов, минералогические исследования;
  • Фармацевтика, медицинское оборудование;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний.
  • Измерение спектра пропускания цветных пикселей;
  • Измерение толщины пленки TiO2 на кремнии;
  • Измерение спектра отражения компонента MEMS внутри и снаружи через отверстие;
  • Функция оцифровки изображения.



VECOR 101 Duranzo Aisle, Irvine, CA92606, USA
Phone: +1-949-394-4466 * Fax: +1-949-451-6813 * E-mail: info@vecorus.com