КОНТРОЛЬ ОДНОРОДНОСТИ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ

Если Вам нужна информация об однородности тонких пленок по площади подложки, воспользуйтесь устройствами картографирования Angstrom Sun Technologies, Inc. серии SRM. Эти устройства позволяют получить карту распределения толщин и показателей преломления пленок по поверхности образца в структуре до 5 слоев. SRM300 - простая в установке и обращении модель, использующая программное обеспечение под Windows, так что большинство пользователей легко и быстро освоят работу с прибором. Стандартные конфигурации позволяют картографировать подложки диаметром до 200 мм и 300 мм. SRM100 работает в глубоком ультрафиолетовом и видимом диапазонах длин волн (DUV - Vis), SRM300 - в видимом диапазоне (Vis). Другие диапазоны, размеры и геометрия картографирования доступны по требованию. Продвинутое программное обеспечение позволяет получать различные представления распределений в линейных, полярных, квадратичных и даже произвольных системах координат. Детектор на основе линейки приемников обеспечивает быстроту измерений. Продвинутая оптика и надежная конструкция приборов определяют их высочайшее качество.

Примечания:

- Конфигурация прибора и его спецификации могут быть изменены без предварительного уведомления;
- Приборы могут быть изготовлены по отдельному заказу для конкретных специальных применений;




SRM100
  • Легкое управление с помощью программного обеспечения, работающего в ОС Windows;
  • Различные типы геометрии подложек размером до 300 х 300 мм или до 300 мм диаметр;
  • Различные представления распределений в линейных, полярных, квадратичных и произвольных системах координат;
  • Передовая оптика и надежная конструкция для наилучшего качества системы;
  • Линейка приемников для обеспечения быстроты измерений;
  • Картографирует толщину пленки и показатель преломления в сложных многослойных структурах до 5 слоев;
  • Прибор поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Включены общеизвестные методики измерений;
  • Продвинутое программное обеспечение TFProbe 3.3.Х позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА)
  • Дооснащается до MSP (микроспектрофотометрической) системы картографирования с распознаванием картины или до Большого Пятна для картографирования развитой или специальной структуры (по модели Zonerage);
  • Применим к различным типам подложек различной толщины;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный пользовательский интерфейс.
  • Модель: SRM100-M300;
  • Приемник: CCD линейка, 2048 пкс;
  • Измеряет толщину пленки, показатель преломления, спектр отражения;
  • Источник света: высокомощный DUV и контролируемая DC вольфрам-галогенная лампа;
  • Транспортировка света: оптика;
  • Предметный стол: изготовлен из черного анодированного алюминия, с вакуумным подсосом, фиксирующим 200 мм подложку;
  • Коммуникация: USB и RS232;
  • Программное обеспечение: TFProbe 2.Х/3.Х;
  • Компьютер: Intel Core 2 Duo процессор с 200GB жестким диском, DVD+RW приводом и с 19” LCD монитором;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 3 А;
  • Габариты: 14”(W) x 20”(D) x 14”(H);
  • Вес: 100 фунтов;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 250 - 1050 нм;
  • Размер светового пятна на образце: переменный от 500 µм до 5 мм;
  • Размер образца: до диаметра 300 мм;
  • Толщина подложки образца: до 50 мм;
  • Число слоев в многослойном покрытии*: до 5 ;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 10 нм до 50 µм;
  • Время измерений: 2 мс - 1 с на установку;
  • Воспроизводимость по координатам*: около 1 µм;
  • Точность*: лучше чем 0.5%;
  • Воспроизводимость*: лучше 2 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 Å на подложке Si).

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Модели с расширенным диапазоном длин волн:
    • SRM100D: 190 нм - 1850 нм
    • SRM400: 900 нм - 1700 нм
    • SRM500: 400 нм - 1700 нм;
  • Размеры по требованию заказчика;
  • Оснащение для широкого пятна для измерений развитых структур;
  • Оснащение для узкого пятна для сильно неоднородных образцов.
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Биологические пленки и материалы;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний.
  • 2D распределение толщины слоя нитрида в трехслойном покрытии "нитрид - окисел - нитрид" на стекле;
  • 2D контурные кривые для нитрида в трехслойном покрытии "нитрид - окисел - нитрид" на стекле;

ЭSRM300
  • Легкое управление с помощью программного обеспечения, работающего в ОС Windows;
  • Различные типы геометрии подложек до 300 мм диаметр;
  • Различные представления распределений в линейных, полярных, квадратичных и произвольных системах координат;
  • Передовая оптика и надежная конструкция для наилучшего качества системы;
  • Линейка приемников для обеспечения быстроты измерений;
  • Картографирует толщину пленки и показатель преломления в сложных многослойных структурах до 5 слоев;
  • Прибор поставляется с обширной базой данных оптических констант и библиотекой материалов;
  • Включены общеизвестные методики измерений;
  • Продвинутое программное обеспечение TFProbe 3.3.Х позволяет использовать для каждой отдельной пленки или таблицы nk, или дисперсионные данные, или приближение эффективной среды (ЕМА)
  • Дооснащается до MSP (микроспектрофотометрической) системы картографирования с распознаванием картины или до Большого Пятна для картографирования развитой или специальной структуры (по модели Zonerage);
  • Применим к различным типам подложек различной толщины;
  • Вывод результатов в виде 2D и 3D графики, дружественный пользовательский интерфейс.
  • Модель: SRM300-M300;
  • Приемник: CCD линейка, 2048 пкс;
  • Измеряет толщину пленки, показатель преломления, спектр отражения;
  • Источник света: контролируемая DC вольфрам-галогенная лампа;
  • Транспортировка света: оптика;
  • Предметный стол: изготовлен из черного анодированного алюминия, с вакуумным подсосом, фиксирующим подложку до 300 мм ;
  • Коммуникация: USB;
  • Программное обеспечение: TFProbe 2.Х/3.Х;
  • Компьютер: Intel Core 2 Duo процессор с 300GB жестким диском, DVD+RW приводом и с 20” LCD монитором;
  • Питание: 110-240 В/50-60 Гц, 3 А;
  • Габариты: 14”(W) x 20”(D) x 14”(H);
  • Вес: 100 фунтов;
  • Гарантия: 1 год на труд и компоненты.
  • Диапазон длин волн излучения: 400 - 1050 нм;
  • Размер светового пятна на образце: переменный от 500 µм до 5 мм;
  • Размер образца: до диаметра 300 мм;
  • Толщина подложки образца: до 50 мм;
  • Число слоев в многослойном покрытии*: до 5 ;
  • Диапазон измеряемых толщин пленок*: от 50 нм до 50 µм;
  • Время измерений: 2 мс - 1 с на установку;
  • Воспроизводимость по координатам*: около 1 µм;
  • Точность*: лучше чем 0.5%;
  • Воспроизводимость*: лучше 2 Å (1 σ из 50 измерений термически окисленного слоя SiO2 толщиной 1200 Å на подложке Si).

* - зависит от свойств пленки, качества поверхности и числа слоев.

  • Модели с расширенным диапазоном длин волн:
    • SRM100: 250 нм - 1000 нм
    • SRM400: 900 нм - 1700 нм
    • SRM500: 400 нм - 1700 нм;
  • Другой размер подложек: 200 мм (SRM300-200);
  • Размеры по требованию заказчика;
  • Оснащение для широкого пятна для измерений развитых структур;
  • Оснащение для узкого пятна для сильно неоднородных образцов;
  • Серия SRM может быть конфигурирована различными платформами в соответствии с особенностями применения и специальными функциями и опциями.
  • Производство полупроводников (PR, оксиды, нитриды);
  • Жидкокристаллические дисплеи;
  • Биологические пленки и материалы;
  • Оптические покрытия, TiO2, SiO2, Ta2O5...;
  • Полупроводниковые соединения;
  • Функциональные пленки для MEMS/MOEMS;
  • Аморфный, нано- и кристаллический кремний.
  • 2D распределение толщины слоя нитрида в трехслойном покрытии "нитрид - окисел - нитрид" на стекле;
  • 2D контурные кривые для нитрида в трехслойном покрытии "нитрид - окисел - нитрид" на стекле;



VECOR 101 Duranzo Aisle, Irvine, CA92606, USA
Phone: +1-949-394-4466 * Fax: +1-949-451-6813 * E-mail: info@vecorus.com