ПРИТИРОЧНЫЕ ПРИСПОСОБЛЕНИЯ




Притирочные приспособления с калиброванными прокладками Притирочные и полировальные приспособления с калиброванными прокладками предназначены для притирки и полировки образцов до одной и той же толщины, неизменной от процесса к процессу. Для установки и контроля окончательной толщины и используются калиброванные прокладки. Процесс притирки/полировки осуществляется вручную или на полировальных машинах (например, Модели 900, 910, 920). Могут быть обработаны образцы диаметром до 2".

Набор прецизионных калиброванных прокладок позволяет установить зазор между периферийным кольцом приспособления, на котором установлены притертые опорные шайбы из WC, плоскость которых является плоскостью притира, и центральным скользящим штоком, на котором устанавливается установочный блок с подлежащим притирке образцом. Суммарная толщина установленных калиброванных прокладок должна соответствовать требуемой толщине образца после притирки. Устанавливаемая толщина варьируется в диапазоне 0.0010" - 0.0400" с шагом 0.0005". После установки образца и калиброванных прокладок образец притирается, причем шток держателя его не затянут и притирка идет под действием приложенной силы - груза или просто нажатия пальцем. Когда толщина образца становится близкой к требуемой, шток держателя образца затягивается, и притирка/полировка образца продолжаются до тех пор, пока поверхность образца не станет параллельна плоскости опорных WC шайб и не будет достигнута требуемая толщина. Приспособления с калиброванными прокладками идеальны для повторяющихся процессов изготовления образцов с одинаковой толщиной.

  • Опорные шайбы из WC сопротивляются износу и поддерживают плоскостность образца;
  • Контроль с калиброванными прокладками- простой метод изготовления образцов с одинаковой толщиной в повторяющихся процессах;
  • Широкая база минимизирует вероятность разрушения образца и "завал" его краев;
  • Приспособления могут быть установлены на притирочно-полировальной машине Модель 920 для полуавтоматической обработки;
  • Прецизионная конструкция, выполненная из нержавеющей стали, обеспечивает высокую точность и долгий срок службы приспособления.
Все приспособления укомплектованы следующим одинаковым по толщинам (но разным по каталожным номерам, запрашивайте!!) набором калиброванных прокладок:

  • Калиброванная прокладка толщиной 0.0200"
  • Калиброванная прокладка толщиной 0.0100"
  • Калиброванная прокладка толщиной 0.0050"
  • Калиброванная прокладка толщиной 0.0020" (2 шт)
  • Калиброванная прокладка толщиной 0.0015"
  • Калиброванная прокладка толщиной 0.0010"


Компоненты Приспособление Модель 130
для образцов диаметра до 1"
Приспособление Модель 135
для образцов диаметра до 2"
Приспособление Модель 141
для образцов диаметра до 0.5"
Приспособление Модель 142
для образцов диаметра до 0.5"
Установочный блок Ø2.0" NO YES NO NO
Установочный блок Ø1.5" NO YES NO NO
Установочный блок Ø1.0" YES YES NO NO
Установочный блок Ø0.75" YES NO NO NO
Магнитный установочный блок Ø0.5" NO NO YES NO
Установочный блок Ø0.49" NO NO NO YES
установочный блок Ø0.37" NO NO NO YES

Специальные притирочные приспособления Большое количество различных притирочных и полировальных приспособлений для обработки образцов диаметром от менее чем 1/8" до более чем 8".Прецизионный контроль съема материала/толщины с помощью микрометра или цифрового дисплея. Есть приспособления для притирки/полировки края образца под заданным углом.
Модель Высота, дюйм Диаметр основания, дюйм Вес плунжера, г Контроль толщины Максимальный диаметр образца, дюйм Высота образца, дюйм Фиксация образца Особые свойства
145 2.5 1.5 50 Микрометер 0.5 0.4 Смола
150 4.5 2.7 300 Микрометр 1 0.5 Смола
150L 4.5 2.7 0 Микрометр 1 0.5 Смола Малое усилие
155 5.5 3.5 350 Микрометр 2 0.32 Смола
155D 5.5 3.5 350 Цифровой дисплей 2 0.32 Смола
155Е 5.5 3.5 350 Микрометр 2 0.32 Смола Обработка края
155L 5.5 3.5 0 Микрометр 2 0.32 Смола Малое усилие
155V 6.75 3.5 350 Микрометр 2 0.32 Вакуум
155DV 6.75 3.5 350 Цифровой дисплей 2 0.32 Вакуум/Смола
155DL 5.5 3.5 0 Цифровой дисплей 1 0.5 Смола Малое усилие
155LMD 5.5 3.5 0 Микрометр 1 0.5 Магнит/Смола Малое усилие
147 5.5 4 355 Микрометр 2.625 0.4 Смола
147D 5.5 4 355 Цифровой дисплей 2.625 0.4 Смола
147Е 5.5 4 355 Микрометр 2.625 0.4 Смола Обработка края
147V 6.75 4 355 Микрометр 2.625 0.4 Вакуум
147DV 6.75 4 355 Цифровой дисплей 2.625 0.4 Вакуум/Смола
147ЕD 5.5 4 355 Цифровой дисплей 2.625 0.4 Смола Обработка края
Серия специальных притирочных приспособлений бала разработана для притирки-полировки образцов до 8" диаметром, образцов для ТЕМ и ориентированных кристаллов.Кроме размеров и формы, приспособления отличаются применяемой методикой контроля толщины. Приспособления могут применяться как для ручной, так и для машинной полировки.

Модель 160 Для полировки полупроводников часто приходится применять сильные химикаты, такие как бромин или растворы фтористоводородной кислоты, разъедающие нержавеющую сталь, из которой сделаны большинство наших приспособлений. Приспособление Модель 160 изготовлено из тефлона и сконструировано для химической полировки образцов диаметром до 2 1/8". Образец удерживается в приспособлении вакуумом и притирается/полируется перемещением по полировальнику, покрытому соответствующей материей, смоченной нужным химическим раствором. Модель 160 идеальна для бездефектной полировки полупроводниковых материалов и экстенсивно используется, например, для полировки GaAs бром-метанолом.
Модель 170 Модель 170 была разработана совместно с Ливерморской Национальной Лабораторией (Livermore National Laboratory) и Институтом Макса Планка (Max Planck Institute) для прецизионной ориентации и притирки/полировки монокристаллов. Конструкция основана на работе Mader et al (MPI) и обеспечивает возможность приложения контролируемого усилия к деликатным образцам. Модель 170 может быть установлена непосредственно в тракте прохождения рентгеновских лучей для анализа по методу обратного отражения Лауэ. Точность позиционирования 0.1о может быть достигнута при использовании Модели 170 совместно с устройством для установки в рентгеновском тракте Модель 17011. Применяется для полировки ориентированных кристаллов.
Модель 195 Во многих лабораторях узким местом является производительность подготовки образцов. Модель 195 MultiLapTM разработана для шлифовка-полировки одновременно нескольких образцов с прецизионным контролем каждого отдельного образца. Приспособление объединяет до 6 плунжеров, которые держат образцы и контролируют количество удаленного материала. Устройство позволяет полировать с шагом 10 µм образцы с диаметром до 1". Установка образцов позволяет наблюдать их в проходящем свете. Износоустойчивые опорные шайбы, изготовленные из дельрина, хорошо себя ведут со многими абразивными пленками и средами. В целом, Модель 195 - это многогранный и прецизионный инструмент для выполнения прецизионных притирочных процессов, который совершенно необходим в каждой лаборатории, занимающейся подготовкой образцов.
Модель 181 Кроме производительности труда, существенной проблемой может быть то, что некоторые методики анализа очень чувствительны к обратному загрязнению от притирочного устройства. Рельсовые полировальники Модель 181 предназначены для шлифовки-полировки нескольких образцов с прецизионным контролем каждого отдельного образца, когда с абразивным материалом контактирует только поверхность обрабатываемого образца. На приспособлении можно одновременно установить от одного до трех отдельных плунжеров, к которым крепится образец и которые контролируют количество удаленного материала. Полируются образцы диаметром до 1" с шагом снятия припуска 10 µм. Установка образцов позволяет наблюдать их в проходящем свете.
Модель 25015 Модели 25010/15 были разработаны как дополнение к двухосевому гониометру Модель 250 и предназначены для притирки или полировки ориентированных кристаллов, вручную или на вращающемся полировальнике. Гониометр Модель 250 может быть установлен на пути рентгеновских лучей для определения ориентации образца и затем перемещен непосредственно на приспособление Модель 25010/15 для притирки или полировки. Конструкция Модели 25010/15 позволяет полностью компенсировать вес гониометра и полировать кристалл с точностью ориентации в пределах 0.25о.
Модель Высота, дюйм Диаметр основания, дюйм Вес плунжера, г Контроль толщины Максимальный диаметр образца, дюйм Высота образца, дюйм Фиксация образца Особые свойства
Модель 160 2.35 3 340 N/A 2 1 Вакуум Тефлон
Модель 170 6 4 Сбалансирован Микрометр 1 0.4 Смола Наклон +/-5о
Поворот на 360о
Модель 195 3 3 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 6 плунжеров
Модель 18101 3.5 4.5 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 1 дорожка,
1 плунжер
Модель 18102 3.5 4.5 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 1 дорожка,
2 плунжера
Модель 18103 3.5 4.5 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 1 дорожка,
3 плунжера
Модель 18301 3.5 4.5 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 3 дорожки,
1 плунжер
Модель 18302 3.5 4.5 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 3 дорожки,
2 плунжера
Модель 18303 3.5 4.5 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 3 дорожки,
3 плунжера
Модель 155R 5 4.5 105 Микрометр 10 мм 0.75 0.3 Магнит/Смола 1х155 плунжер
Модель 25015 6 4 0 Микрометр 1 0.6 Смола Используется
с гониометром
Модель 250
Модель 104 3 6.25 0 Микрометр,
рычажная подстройка
4 0.5 Смола Плоскость/углы

Притирочные приспособления VersaLap В большинстве лабораторий, занимающихся подготовкой материалов для исследований, притирка и полировка поверхностей образцов - обязательный процесс. Мы предлагаем широкий диапазон приспособлений, обеспечивающих аккуратную шлифовку-полировку поверхностей. Это приспособления с вакуумной фиксацией образцов - уникальные приспособления, предназначенные для обработки поверхностей диаметром до 8". Для установки количества материала, которое должно быть удалено притиром, используется микрометрическая регулировка. Градуировка микрометра - 5 µм, но даже 1 µм читается довольно легко. Для непрерывного мониторинга толщины образца имеется цифровой дисплей с разрешением 1 µм. Эти приспособления также имеют опцию традиционной фиксации образца с помощью смолы. Приспособления изготовлены из нержавеющей стали, опорные шайбы сделаны из карбида вольфрама для уменьшения износа и сохранения прараллелизма поверхностей.

Модель Высота, дюйм Диаметр основания, дюйм Вес плунжера, г Контроль толщины Максимальный диаметр образца, дюйм Высота образца, дюйм Фиксация образца
Модель 162.5 7.3 3.97 840 Микрометр 2.625 0.29 Смола
Модель 162.5D 7.3 3.97 840 Цифровой 2.625 0.29 Смола
Модель 162.5V 8.7 3.97 840 Микрометр 2.625 0.29 Вакуум/Смола
Модель 162.DV 8.7 3.97 840 Цифровой 2.625 0.29 Вакуум/Смола
Модель 163 7.3 4.47 840 Микрометр 3.125 0.29 Смола
Модель 163D 7.3 4.47 840 Цифровой 3.125 0.29 Смола
Модель 163V 8.7 4.47 840 Микрометр 3.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 163DV 8.7 4.47 840 Цифровой 3.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 164 7.3 5.47 840 Микрометр 4.125 0.29 Смола
Модель 164D 7.3 5.47 840 Цифровой 4.125 0.29 Смола
Модель 164V 8.7 5.47 840 Микрометр 4.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 164DV 8.7 5.47 840 Цифровой 4.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 165 7.3 6.47 840 Микрометр 5.125 0.29 Смола
Модель 165D 7.3 6.47 840 Цифровой 5.125 0.29 Смола
Модель 165V 8.7 6.47 840 Микрометр 5.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 165DV 8.7 6.47 840 Цифровой 5.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 166 7.3 7.47 840 Микрометр 6.125 0.29 Смола
Модель 166D 7.3 7.47 840 Цифровой 6.125 0.29 Смола
Модель 166V 8.7 7.47 840 Микрометр 6.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 166DV 8.7 7.47 840 Цифровой 6.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 167 7.3 8.47 840 Микрометр 7.125 0.29 Смола
Модель 167D 7.3 8.47 840 Цифровой 7.125 0.29 Смола
Модель 167V 8.7 8.47 840 Микрометр 7.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 167DV 8.7 8.47 840 Цифровой 7.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 168 7.3 9.47 840 Микрометр 8.125 0.29 Смола
Модель 168D 7.3 9.47 840 Цифровой 8.125 0.29 Смола
Модель 168V 8.7 9.47 840 Микрометр 8.125 0.29 Вакуум/Смола
Модель 168DV 8.7 9.47 840 Цифровой 8.125 0.29 Вакуум/Смола
Мы предлагаем огромный выбор установочных блоков для использования с любыми из наших машин и приспособлений.

Плоские монтажные блоки, изготовленные из нержавеющей стали
Номер Подходит для использования с Моделью Описание
01-03039-01 142, 145 ⌀0.7" (17.8 мм)
01-03040-01 142, 145 ⌀0.49" (12.4 мм)
01-03402-01 141 Магнитная фиксация
01-02928-01 130, 147, 150, 151, 155Е, 154, 155, 156, 157 ⌀0.75" (19 мм)
01-02905-01 130, 147, 150, 151, 155Е, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм)
01-03157-01 150МС ⌀1" (25 мм), нержавеющая сталь,
18.5 о индикаторная марка
для Модели 520
01-02929-01 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1.25" (31.75 мм)
01-02926-01 147, 155E, 154, 155 156, 157 ⌀1.5" (38 мм)
01-02927-01 147, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀2" (50 мм)
01-03756-01 147 ⌀2.6" (66 мм)
Угловые монтажные блоки, изготовленные из нержавеющей стали
Номер Подходит для использования с Моделью Описание
01-02918-01 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 0.25о
01-02919-01 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 0.5о
01-02920-01 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 1о
01-02920-02 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 2о
01-02920-03 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 3о
01-02920-04 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 4о
01-02920-05 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 5о
01-02920-06 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 6о
01-02920-07 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 7о
01-02920-08 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 8о
01-02920-09 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 9о
01-02920-10 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 10о
01-02973-01 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 20о
01-02973-02 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 30о
01-02973-03 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 45о
01-02973-04 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 60о
01-02974-01 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 90о (вертикальный монтаж)
01-02897-01 130, 147, 150, 151, 155E, 154, 155, 156, 157 ⌀1" (25 мм), угол 10о двойной

Набор для полировки и хранения образцов EBSD-150 Основным компонентом набора для полировки образцов EBSD является притирочное приспособление с микрометром Модель 150. В комплект включены два установочных блока, в которые устанавливаются держатели образцов с ножкой ⌀1/8" для подготовки образцов для SEM в геометрии "plan-view" или Tripod PolisherTM держатель для подготовки образцов XSEM. Перед установкой в притирочное приспособление держатели образцов крепятся в установочном блоке с помощью установочных винтов. Образец остантся прикрепленным к держателю во время полировки и может быть перенесен после полировки неросредственно в SEM или помещен в контейнер для хранения образцов SampleSaverTM.
Стойка держателя EBSD К контейнеру SampleSaverTM прилагаются два "стеллажа" с адаптерами для хранения 150 образцов. В комплект также входит предустановленный по наклону образца на 20о или 70о держатель образца для EBSD анализа. Его стойка состоит из трех частей, позволяющих регулировать его высоту. Размеры держателя образца позволяют пропускать его через загрузочные устройства большинства SEM а также хранить без разборки в SampleSaverTM.
Отличительными особенностями комплекта EBSD-150 являются:

  • Относительно простой и недорогой метод механической полировки и установки образца для EBSD на SEM держателе, позволяющий быстрый перенос приготовленного образца без его демонтажа;
  • В держателе EBSD образец установлен под фиксированным углом 70о или дополнительным углом 20о;
  • В процессе полировки применяются традиционные легко доступные прецизионные абразивы, как и в других процессах подготовки образцов;
  • Притирочное приспособление Модель 150 может быть использовано без модификации и для других рутинных параллельных и угловых процессов полировки с установочными блоками диаметром до 1.25";
  • Как опция возможно применение притирочного устройства с малой нагрузкой Модель 150L.
Наборы EBSD-150 и EBSD-150L включают:

  • Предустановленный по наклону образца на 20о или 70о держатель образца для EBSD анализа;
  • Три сегмента стойки держателя для EBSD;
  • Два установочных блока для держателей SEM образцов;
  • Два держателя SEM образцов для трипода;
  • Притирочное приспособление Модель 150;
  • Sample SaverTM контейнер с двумя "стеллажами";
  • Два держателя для установочных блоков.
Дополнительные приcпособления и запасные части
Номер Описание
01-03876-01 Стойка образца EBSD
01-03878-01 Преднаклоненный держатель
01-03875-01 90о Держатель образцов
01-03874-01 Резьбовой адаптер для хранения 90о держателя
в контейнере Sample SaverTM
Покупные изделия
0714-025 Серебряно-эпоксидная паста
0581-001 Держатели образца SEM (10 шт)



VECOR 101 Duranzo Aisle, Irvine, CA92606, USA
Phone: +1-949-394-4466 * Fax: +1-949-451-6813 * E-mail: info@vecorus.com